博士論文

Si基板上への気相エピタキシャル成長法による窒化物半導体の結晶成長に関する研究

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Si基板上への気相エピタキシャル成長法による窒化物半導体の結晶成長に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-G244
国立国会図書館書誌ID
000004178017
資料種別
博士論文
著者
本田善央 [著]
出版者
[本田善央]
出版年
[2003]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
Si キバンジョウ エノ キソウ エピタキシャル セイチョウホウ ニ ヨル チッカブツ ハンドウタイ ノ ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
本田善央 [著]
著者標目
本田, 善央 ホンダ, ヨシオ
出版事項
出版年月日等
[2003]
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
授与機関名
名古屋大学