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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Hisao Nagai [著]
- 著者標目
- 永井, 久雄 ナガイ, ヒサオ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 高密度プラズマを用いた低誘電率膜プロセスに関する研究 コウミツド プラズマ オ モチイタ テイユウデンリツ マク プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋大学
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