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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- メタン - SF6 コンゴウ ガス オ モチイタ プラズマ CVD ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 松下雅樹 [著]
- 著者標目
- 松下, 雅樹 マツシタ, マサキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 名古屋大学
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