博士論文

ダイヤモンド薄膜作製用マイクロ波放電プラズマにおける気相過程のレーザー散乱による研究

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ダイヤモンド薄膜作製用マイクロ波放電プラズマにおける気相過程のレーザー散乱による研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-G437
国立国会図書館書誌ID
000004179722
資料種別
博士論文
著者
成重将史 [著]
出版者
[成重将史]
出版年
[2003]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ダイヤモンド ハクマク サクセイヨウ マイクロハ ホウデン プラズマ ニ オケル キソウ カテイ ノ レーザー サンラン ニ ヨル ケンキュウ
著者・編者
成重将史 [著]
著者標目
成重, 将史 ナリシゲ, ソウシ
出版事項
出版年月日等
[2003]
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
授与機関名
九州大学