博士論文

極薄ゲート絶縁膜/シリコン界面における化学結合状態と電子状態に関する研究

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極薄ゲート絶縁膜/シリコン界面における化学結合状態と電子状態に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-G932
国立国会図書館書誌ID
000004182408
資料種別
博士論文
著者
高橋健介 [著]
出版者
[高橋健介]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
武蔵工業大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ゴクウス ゲート ゼツエンマク シリコン カイメン ニ オケル カガク ケツゴウ ジョウタイ ト デンシ ジョウタイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
高橋健介 [著]
著者標目
高橋, 健介 タカハシ, ケンスケ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
武蔵工業大学