博士論文

LSI製造における薄膜プロセス起因の欠陥発生メカニズムとその抑制に関する研究

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LSI製造における薄膜プロセス起因の欠陥発生メカニズムとその抑制に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-H878
国立国会図書館書誌ID
000004199636
資料種別
博士論文
著者
長田芳裕 [著]
出版者
[長田芳裕]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
京都大学,博士 (工学)
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博士論文

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資料種別
博士論文
タイトルよみ
LSI セイゾウ ニ オケル ハクマク プロセス キイン ノ ケッカン ハッセイ メカニズム ト ソノ ヨクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
長田芳裕 [著]
著者標目
長田, 芳裕 オサダ, ヨシヒロ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
京都大学