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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- 0.1マイクロm GHz セダイ ノ チョウLSI ノ ハイセン ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 古谷晃 [著]
- 著者標目
- 古谷, 晃 フルヤ, アキラ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Study on metallization technology for future ULSI devices of 0.1μm・GHz generation