博士論文

シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

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シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-T653
国立国会図書館書誌ID
000004286629
資料種別
博士論文
著者
獅子口清一 [著]
出版者
[獅子口清一]
出版年
2003
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
奈良先端科学技術大学院大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノ タメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
著者・編者
獅子口清一 [著]
著者標目
獅子口, 清一 シシグチ, セイイチ
出版事項
出版年月日等
2003
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
授与機関名
奈良先端科学技術大学院大学