Defect centers in chemical-mechanical polished MOS oxides SAND-94-2619C DE95 004777 CONF-95061051

Defect centers in chemical-mechanical polished MOS oxides

SAND-94-2619C DE95 004777 CONF-95061051

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Defect centers in chemical-mechanical polished MOS oxides
著者・編者: Shaneyfelt, M. R
Warren, W. L
Hetherington, D. L
Timon, R. P
Resnick, P. J
出版年月日等: 1994
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 5 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-94-2619C
テクニカルリポート番号 : DE95 004777
テクニカルリポート番号 : CONF-95061051
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE95/004777
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005518585
http://id.ndl.go.jp/bib/000005518585
整理区分コード: 291