スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程

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資料種別: 図書
タイトル: スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程
タイトルよみ: スピンコーテイングニオケルハクエキマクケイセイカテイ
著者・編者: 松本, 洋一郎, 東京大学
著者標目: 松本, 洋一郎マツモト, ヨウイチロウ
出版年月日等: 1989-1990
出版年（W3CDTF）: 1989
数量: 冊
その他のタイトル: 研究種目一般研究(B)
件名標目: 液膜流れエキマクナガレ
回転円盤カイテンエンバン
回転塗布法カイテントフホウ
薄膜形成ハクマクケイセイ
熱物質移動ネツブツシツイドウ
相変化ソウヘンカ
厚さ計測アツサケイソク
数値解析スウチカイセキ
NDLC: Y151
一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 01460110
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H01460110
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000006974006
http://id.ndl.go.jp/bib/000006974006
整理区分コード: 214