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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- タンサン ガスレーザ ニ ヨル シリコン ドウイタイ ブンリ ノ ジツヨウカ
- 著者・編者
- 荒井, 重義, 京都工芸繊維大学
- 著者標目
- 荒井, 重義 アライ, シゲヨシ
- 出版年月日等
- 1989-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究
- 件名標目
- レーザー同位体分離 レーザードウイタイブンリ赤外多光子分解による同位体分離 セキガイタコウシブンカイニヨルドウイタイブンリシリコン同位体の分離 シリコンドウイタイノブンリヘキサフルオロジシラン ヘキサフルオロジシランヘキサフルオロジシランの光外多光子分解 ヘキサフルオロジシランノヒカリガイタコウシブンカイ