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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン アミメ コウゾウ(アモルフアス カラ タンケッショウ マデ )セイギョ ノ タメ ノ カガク ハンノウ カイセキ
- 著者・編者
- 清水, 勇, 東京工業大学
- 著者標目
- 清水, 勇 シミズ, イサム
- 出版年月日等
- 1990-1993
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(A)
- 件名標目
- マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ自動エリプソメトリー ジドウエリプソメトリーその場観察 ソノバカンサツlayer-by layer LAYER-BYLAYER