書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- レーザ コウソク ニ ヨル サブミクロン リュウシ ノ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 清水, 勲, 茨城工業高等専門学校
- 著者標目
- 清水, 勲 シミズ, イサオ
- 出版年月日等
- 1990-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- レーザ光圧力 レーザヒカリアツリヨク粒子の非接触マニピユレート リユウシノヒセツシヨクマニピユレートクリーンルーム クリーンルームサブミクロン粒子汚染 サブミクロンリユウシオセン光バリア ヒカリバリアウエハ汚染防止 ウエハオセンボウシ真空中の粒子マニピユレート シンクウチユウノリユウシマニピユレート