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超音速イオンビーム装置の開発と低エネルギーイオン分子反応への応用

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超音速イオンビーム装置の開発と低エネルギーイオン分子反応への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H02555170
国立国会図書館書誌ID
000006978849
資料種別
図書
著者
辻, 正治, 九州大学
出版者
-
出版年
1990-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウオンソク イオンビーム ソウチ ノ カイハツ ト テイエネルギーイオン ブンシ ハンノウ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
辻, 正治, 九州大学
著者標目
辻, 正治 ツジ, マサハル
出版年月日等
1990-1992
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
超音速イオンビーム チヨウオンソクイオンビーム
イオン分子反応 イオンブンシハンノウ
エツチング エツチング
質量スペクトル シツリヨウスペクトル