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低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察

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低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察

国立国会図書館請求記号
Y151-H03452081
国立国会図書館書誌ID
000006981831
資料種別
図書
著者
長谷川, 繁彦, 大阪大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
テイソク デンシ トウカ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ヘテロ カイメン ノ ソノ バ カンサツ
著者・編者
長谷川, 繁彦, 大阪大学
著者標目
長谷川, 繁彦 ハセガワ, シゲヒコ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
低速電子透過分光法 テイソクデンシトウカブンコウホウ
半導体ヘテロ界面 ハンドウタイヘテロカイメン
シリコン シリコン
ゲルマニウム ゲルマニウム
低速電子回折 テイソクデンシカイセツ
オージエ電子分光法 オージエデンシブンコウホウ
界面の構造 カイメンノコウゾウ
格子歪 コウシヒズミ