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半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発

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半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H03452177
国立国会図書館書誌ID
000006981923
資料種別
図書
著者
高橋, 幸郎, 埼玉大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オ モチイタ デンシ ゾウ バイ デバイス ノ カイハツ
著者・編者
高橋, 幸郎, 埼玉大学
著者標目
高橋, 幸郎 タカハシ, コウロウ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
マイクロチヤネルプレート マイクロチヤネルプレート
電子増倍 デンシゾウバイ
シリコンエツチング シリコンエツチング
化学的気粗成長法 カガクテキキソセイチヨウホウ
2次電子増倍 2ジデンシゾウバイ
異方性エツチング イホウセイエツチング
半導体微細加工技術 ハンドウタイビサイカコウギジユツ