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電子材料用の金属薄膜の熱歪による形状変化

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電子材料用の金属薄膜の熱歪による形状変化

国立国会図書館請求記号
Y151-H03452257
国立国会図書館書誌ID
000006981992
資料種別
図書
著者
村上, 正紀, 京都大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
電子材料用の金属薄膜の熱歪による形状変化
タイトルよみ
デンシ ザイリョウヨウ ノ キンゾク ハクマク ノ ネツ ワイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ
著者・編者
村上, 正紀, 京都大学
著者標目
村上, 正紀 ムラカミ, マサノリ
出版年月日等
1991-1992
出版年（W3CDTF）
1991
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
薄膜歪 ハクマクヒズミ
薄膜応力 ハクマクオウリヨク
X線回折 Xセンカイセツ
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