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ガリウムひ素表面の低温フツ化

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ガリウムひ素表面の低温フツ化

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650019
国立国会図書館書誌ID
000006983557
資料種別
図書
著者
奥村, 次徳, 東京都立大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
ガリウムひ素表面の低温フツ化
タイトルよみ
ガリウム ヒソ ヒョウメン ノ テイオン フツカ
著者・編者
奥村, 次徳, 東京都立大学
著者標目
奥村, 次徳 オクムラ, ツグノリ ( 01038389 )典拠
出版年月日等
1991-1992
出版年（W3CDTF）
1991
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ひ化ガリウム ヒカガリウム
プラズマフツ化 プラズマフツカ
フツ化物 フツカブツ
X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ
アモルフアスひ素 アモルフアスヒソ
リモートプラズマ リモートプラズマ
水素クリーニング スイソクリーニング
表面損傷 ヒヨウメンソンシヨウ