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多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

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多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H04452121
国立国会図書館書誌ID
000006986085
資料種別
図書
著者
尾田, 十八, 金沢大学
出版者
-
出版年
1992-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タソウタイ ノ セッショクロン オ リヨウ シタ ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
尾田, 十八, 金沢大学
著者標目
尾田, 十八, 1943- オダ, ジュウハチ, 1943- ( 00126081 )典拠
出版年月日等
1992-1994
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
薄膜 ハクマク
多層体 タソウタイ
基板 キバン
接触理論 セツシヨクリロン
弾性特性 ダンセイトクセイ
非弾性特性 ヒダンセイトクセイ
逆解析 ギヤクカイセキ
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ