金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究

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資料種別: 図書
タイトル: 金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
タイトルよみ: キンゾク・チッカブツケイケイシャキノウハクマクニヨルザイリョウヒョウメンカイシツニカンスルケンキュウ
著者・編者: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
著者標目: 小寺澤, 啓司コテラザワ, ケイジ
出版年月日等: 1992-1993
出版年（W3CDTF）: 1992
数量: 冊
その他のタイトル: 研究種目一般研究(C)
件名標目: 高周波反応性スパツタリングコウシユウハハンノウセイスパツタリング
傾斜機能薄膜ケイシヤキノウハクマク
発光分光ハツコウブンコウ
質量分析シツリヨウブンセキ
オージエ電子分光法オージエデンシブンコウホウ
NDLC: Y151
一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 04650071
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H04650071
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000006987942
http://id.ndl.go.jp/bib/000006987942
整理区分コード: 214