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メタルーシリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

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メタルーシリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H04650604
国立国会図書館書誌ID
000006988247
資料種別
図書
著者
下崎, 敏唯, 九州工業大学
出版者
-
出版年
1992-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
メタルーシリコン カゴウブツ(シリサイド) ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
下崎, 敏唯, 九州工業大学
著者標目
下崎, 敏唯 シモザキ, トシタダ
出版年月日等
1992-1994
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
Niシリサイド NIシリサイド
Ptシリサイド PTシリサイド
Tiシリサイド TIシリサイド
相成長 ソウセイチヨウ
薄膜拡散 ハクマクカクサン
バルク拡散 バルクカクサン
成長速度 セイチヨウソクド
反応拡散 ハンノウカクサン