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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- DC アーク 、 RF 、 マグネトロンプラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ
- 著者・編者
- 冨井, 洋一, 京都大学
- 著者標目
- 冨井, 洋一 トミイ, ヨウイチ
- 出版年月日等
- 1993-1994
- 出版年（W3CDTF）
- 1993
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
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