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金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製

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金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452227
国立国会図書館書誌ID
000006996123
資料種別
図書
著者
上野, 智雄, 東京農工大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キンゾク シリサイドコンタクト オ モチイタ ヒショウシツ シリコン ハクマク トランジスタ ノ サクセイ
著者・編者
上野, 智雄, 東京農工大学
著者標目
上野, 智雄 ウエノ, トモオ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ
シリサイド シリサイド
高エネルギーフオトン コウエネルギーフオトン
原子状水素 ゲンシジヨウスイソ
原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ
結晶性絶縁物 ケツシヨウセイゼツエンブツ