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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒカリ ・ プラズマアシスト キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 杉野, 隆, 大阪大学
- 著者標目
- 杉野, 隆 スギノ, タカシ
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 窒化ホウ素 チツカホウソプラズマアシスト気相成長法 プラズマアシストキソウセイチヨウホウ三塩化ホウ素 3エンカホウソ窒素リモートプラズマ チツソリモートプラズマ透過電子線回折 トウカデンシセンカイセツ赤外吸収スペクトル セキガイキユウシユウスペクトル電気抵抗率 デンキテイコウリツ禁止帯幅 キンシタイハバ