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ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用

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ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650028
国立国会図書館書誌ID
000006998732
資料種別
図書
著者
六倉, 信喜, 東京電機大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン ゴウセイ ト ソノ オウヨウ
著者・編者
六倉, 信喜, 東京電機大学
著者標目
六倉, 信喜 ムツクラ, ノブキ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク
プラズマCVD プラズマCVD
高周波プラズマ コウシユウハプラズマ
硬質炭素膜 コウシツタンソマク