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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 平山誠 [著]
- 著者標目
- 平山, 誠 ヒラヤマ, マコト
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- CVD-BNを用いた珪素への硼素拡散とP-MOS集積回路への応用に関する研究 CVD-BN オ モチイタ ケイソ エ ノ ホウソ カクサン ト P-MOS シュウセキ カイロ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 上智大学
- 授与年月日
- 昭和52年3月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1977
- 報告番号
- 甲第22号