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積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

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積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H15560164
国立国会図書館書誌ID
000007956894
資料種別
図書
著者
菊田和重, 北海道大学 [著]
出版者
[菊田和重]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
セキソウ ダイコウケイ ウエハ キンイツ ハクマク ケイセイ ノ タメノ ホウシャネツ ブッセイ ケイソク ト ガス リュウドウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
菊田和重, 北海道大学 [著]
著者標目
菊田, 和重 キクタ, カズシゲ
北海道大学 ホッカイドウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)