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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Xuefeng Zhao [著]
- 著者標目
- 趙, 学峰 チョウ, ガクホウ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2005
- 出版年（W3CDTF）
- 2005
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- オンマシン表面形状計測を可能とする高精度半導体レーザ干渉計に関する研究 オンマシン ヒョウメン ケイジョウ ケイソク オ カノウ ト スル コウセイド ハンドウタイ レーザ カンショウケイ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 新潟大学