博士論文

Development of novel resist process for nano-scale devices

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Development of novel resist process for nano-scale devices

国立国会図書館請求記号
UT51-2006-U595
国立国会図書館書誌ID
000008474297
資料種別
博士論文
著者
Keiji Watanabe [著]
出版者
[Keiji Watanabe]
出版年
[2006]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京農工大学,博士 (工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Keiji Watanabe [著]
著者標目
渡部, 慶二 ワタナベ, ケイジ
出版事項
出版年月日等
[2006]
出版年(W3CDTF)
2006
数量
1冊
並列タイトル等
ナノスケールのデバイスに向けた新規レジストプロセスの開発 ナノスケール ノ デバイス ニ ムケタ シンキ レジスト プロセス ノ カイハツ
授与機関名
東京農工大学