書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Mitsuru Sato [著]
- 著者標目
- 佐藤, 充 サトウ, ミツル
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2006
- 出版年（W3CDTF）
- 2006
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 先端リソグラフィにおける薄膜レジスト及び関連材料の機能性評価に関する研究 センタン リソグラフィ ニ オケル ハクマク レジスト オヨビ カンレン ザイリョウ ノ キノウセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 長岡技術科学大学