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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Jiunnjye Tsaur [著]
- 著者標目
- 曹, 俊杰 ソウ, シュンケツ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2005]
- 出版年（W3CDTF）
- 2005
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- PZT積層膜を用いたRF MEMSスイッチの研究 : 高信号隔離特性および低電圧駆動設計 PZT セキソウマク オ モチイタ RF MEMS スイッチ ノ ケンキュウ : コウシンゴウ カクリ トクセイ オヨビ テイデンアツ クドウ セッケイ
- 授与機関名
- 東京大学