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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- カッセイカ スパッタリング ニ ヨリ ケイセイシタ チタン オヨビ アエン サンカブツ ソシ ノ セイホウ オヨビ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 波田敏雄 [著]
- 著者標目
- 波田, 敏雄 ハダ, トシオ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 昭和47年6月10日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1972
- 報告番号
- 乙第918号