博士論文

高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用

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高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-D533
国立国会図書館書誌ID
000008538150
資料種別
博士論文
著者
吉迫裕司 [著]
出版者
[吉迫裕司]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウシュウハ ジドウ セイゴウキ ノ カイハツ ト プラズマ プロセッシング エ ノ オウヨウ
著者・編者
吉迫裕司 [著]
著者標目
吉迫, 裕司 ヨシザコ, ユウジ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
大阪大学