博士論文

数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

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数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-D749
国立国会図書館書誌ID
000008538640
資料種別
博士論文
著者
柴原正文 [著]
出版者
[柴原正文]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
スウチ セイギョ プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニ ヨル スイショウ ウエハ ノ チョウコウセイド カコウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
柴原正文 [著]
著者標目
柴原, 正文 シバハラ, マサフミ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
大阪大学