博士論文

窒化アルミニウム薄膜の微構造制御による圧電特性の向上と高性能圧電センサへの応用

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窒化アルミニウム薄膜の微構造制御による圧電特性の向上と高性能圧電センサへの応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-K848
国立国会図書館書誌ID
000008973697
資料種別
博士論文
著者
蒲原敏浩 [著]
出版者
[蒲原敏浩]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
チッカ アルミニウム ハクマク ノ ビコウゾウ セイギョ ニ ヨル アツデン トクセイ ノ コウジョウ ト コウセイノウ アツデン センサ エ ノ オウヨウ
著者・編者
蒲原敏浩 [著]
著者標目
蒲原, 敏浩 カモハラ, トシヒロ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
九州大学