博士論文

Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies

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Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-D549
国立国会図書館書誌ID
000009403414
資料種別
博士論文
著者
Keiko Matsuda [著]
出版者
[Keiko Matsuda]
出版年
[2008]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Keiko Matsuda [著]
著者標目
松田, 景子 マツダ, ケイコ
出版事項
出版年月日等
[2008]
出版年(W3CDTF)
2008
数量
1冊
並列タイトル等
ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価 ラマン ブンコウホウ オヨビ カソードルミネッセンス ブンコウホウ ニ ヨル ビショウ デンシ デバイス ノ コウゾウ ヒョウカ
授与機関名
大阪大学