博士論文

Construction of resist polymers with radiation-scissile groups at predetermined sites

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Construction of resist polymers with radiation-scissile groups at predetermined sites

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-E165
国立国会図書館書誌ID
000009417929
資料種別
博士論文
著者
Takashi Shimizu [著]
出版者
[Takashi Shimizu]
出版年
[2008]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
北海道大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Takashi Shimizu [著]
著者標目
清水, 享 シミズ, タカシ
出版事項
出版年月日等
[2008]
出版年(W3CDTF)
2008
数量
1冊
並列タイトル等
定められた位置に放射線切断基を有するレジスト用高分子の構築 サダメラレタ イチ ニ ホウシャセン セツダンキ オ ユウスル レジストヨウ コウブンシ ノ コウチク
授与機関名
北海道大学