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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウユウデンリツ ザイリョウ オ モチイタ ゲート ゼツエンマク ノ サクセイ ト ソノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 長里喜隆 [著]
- 著者標目
- 長里, 喜隆 ナガサト, ヨシタカ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study for fabrication and evaluation of gate dielectric thin films using high-k materials