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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Shigeru Kinoshita [著]
- 著者標目
- 木下, 繁 キノシタ, シゲル
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年（W3CDTF）
- 2007
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 低圧化学気相成長法によるシリコン成膜プロセスのマルチスケール解析の研究 テイアツ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル シリコン セイマク プロセス ノ マルチスケール カイセキ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 横浜市立大学