プラズマ/プロセスの原理 第2版
プラズマ/プロセスの原理
第2版
- Call No. (NDL)
- MC241-J8
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000010688965
Notes on use
Note (General)：
- 初版: EDリサーチ社2001年刊原タイトル: Principles of plasma discharges and materials processing.2nd ed
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- 本原理と薄膜プロセスへの応用を解説(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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さいたま市立中央図書館
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- 427.6 ﾘﾊﾞ
- Book Registration Number：
- 01101181475
千葉県立西部図書館
Paper- Call No.：
- 4276/ 16/
- Book Registration Number：
- 1102204677
東京都立中央図書館
Paper- Call No.：
- 427.6-5006-2010
- Book Registration Number：
- 5018213340
神奈川県立川崎図書館
Paper- Call No.：
- 427.6-21-2010
- Book Registration Number：
- 81411217
Tokai-Hokuriku
名古屋市図書館
Paper- Call No.：
- 4276//
- Book Registration Number：
- 0210725081
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-621-08223-2
- Title
- Title Transcription
- プラズマ プロセス ノ ゲンリ
- Author/Editor
- Michael A.Lieberman, Allan J.Lichtenberg 著佐藤久明 訳堀勝 監修
- Edition
- 第2版
- Author Heading
- 佐藤, 久明 サトウ, ヒサアキ ( 00905212 )Authorities堀, 勝, 1958- ホリ, マサル, 1958- ( 00905209 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2010.1
- Publication Date (W3CDTF)
- 2010