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博士論文

Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations

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Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-G767
国立国会図書館書誌ID
000011285264
資料種別
博士論文
著者
丁毅 [著]
出版者
[丁毅]
出版年
[2010]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
埼玉大学,博士 (工学)
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書誌情報

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紙

資料種別
博士論文
タイトル
Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet : structural, optical and electrical characterizations
著者・編者
丁毅 [著]
著者標目
丁, 毅 ディン, イ
出版事項
[丁毅]
出版年月日等
[2010]
出版年（W3CDTF）
2010
数量
1冊
並列タイトル等
大気圧マイクロプラズマジェットにより作製したSiOC薄膜とその微細構造、光学・電気的物性評価 タイキアツ マイクロプラズマ ジェット ニ ヨリ サクセイシタ SiOC ハクマク ト ソノ ビサイ コウゾウ コウガク デンキテキ ブッセイ ヒョウカ
授与機関名
埼玉大学