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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウセイノウ プラズマゲン ノ ザイリョウ プロセス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ジッケンテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 早川雅浩 [著]
- 著者標目
- 早川, 雅浩 ハヤカワ, マサヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2011]
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing