博士論文

光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ

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光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-K269
国立国会図書館書誌ID
023314802
資料種別
博士論文
著者
小田博和 [著]
出版者
[小田博和]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京工業大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ヒカリ ハンノウセイ タンブンシマク オ モチイタ ネツ ナノインプリント リソグラフィ
著者・編者
小田博和 [著]
著者標目
小田, 博和 オダ, ヒロカズ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
並列タイトル等
Thermal nanoimprint lithography with a photo-reactive monolayer