博士論文

高濃度オゾンガスを用いた半導体の低温酸化プロセスに関する研究

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高濃度オゾンガスを用いた半導体の低温酸化プロセスに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2011-N812
Bibliographic ID of National Diet Library
023396253
Material type
博士論文
Author
西口哲也 [著]
Publisher
[西口哲也]
Publication date
[2010]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
コウノウド オゾン ガス オ モチイタ ハンドウタイ ノ テイオン サンカ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
西口哲也 [著]
Author Heading
西口, 哲也 ニシグチ, テツヤ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2010]
Publication Date (W3CDTF)
2010
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京大学