ULSI process integration 7 : 7th symposium on ULSI process integration : 220th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2011, Boston, MA. (ECS Transactions ; 41 (no. 7))

ULSI process integration 7 : 7th symposium on ULSI process integration : 220th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2011, Boston, MA.

(ECS Transactions ; 41 (no. 7))

国立国会図書館請求記号: M17-12-2616
国立国会図書館書誌ID: 023452149

資料種別: 図書

著者: -

出版者: Electrochemical Society

出版年: c2011.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: ix, 417 p. ; 23 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.

形態の詳細：: ill.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9781566779074 (Hardcover)
9781607682615 (PDF)
ISSN: 19386737 (online)
21512051 (cd-rom)
ISSN（シリーズ）: 19385862
タイトル: ULSI process integration 7 : 7th symposium on ULSI process integration : 220th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2011, Boston, MA.
シリーズタイトル: ECS Transactions ; 41 (no. 7)
出版事項: Pennington : Electrochemical Society
出版年月日等: c2011.
出版年（W3CDTF）: 2011
数量: ix, 417 p.
形態の詳細: ill.
大きさ: 23 cm.
その他のタイトル: Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-12-2616
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 023452149
http://id.ndl.go.jp/bib/023452149
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 215