博士論文

反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究

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反応性スパッタリング法による酸化チタン薄膜の作製と光機能特性の改善に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-J993
国立国会図書館書誌ID
024033735
資料種別
博士論文
著者
シュクル ハイデル アリ [著]
出版者
[シュクル ハイデル アリ]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
工学院大学,博士 (工学)
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一般注記:

博士論文

付属資料:

要旨 2枚

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書誌情報

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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ハンノウセイ スパッタリングホウ ニ ヨル サンカ チタン ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ キノウ トクセイ ノ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
シュクル ハイデル アリ [著]
著者標目
Shukur Haider Ali シュクル ハイデル アリ
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
付属資料
要旨 2枚