博士論文

誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

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誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-K802
国立国会図書館書誌ID
024078523
資料種別
博士論文
著者
林雄一郎 [著]
出版者
[林雄一郎]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
慶應義塾大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ユウドウ ケツゴウガタ Ar , O₂/Ar プラズマ ノ E-H センイ カテイ ノ ジクウカン ブンカイ ブンコウ シンダン
著者・編者
林雄一郎 [著]
著者標目
林, 雄一郎 ハヤシ, ユウイチロウ
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
授与機関名
慶應義塾大学