博士論文

LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究

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LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-R44
国立国会図書館書誌ID
024444435
資料種別
博士論文
著者
佐藤勝 [著]
出版者
[佐藤勝]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
北見工業大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
LSI ニ オケル サイセンタン Cu ハイセン エ テキヨウ カノウナ ナノ ケッショウ バリヤマク ノ サクセイ ホウホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
佐藤勝 [著]
著者標目
佐藤, 勝 サトウ, マサル
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
授与機関名
北見工業大学