博士論文

高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究

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高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-R892
国立国会図書館書誌ID
024471200
資料種別
博士論文
著者
平松雅人 [著]
出版者
[平松雅人]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
奈良先端科学技術大学院大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウセイノウ ハクマク トランジスタ ノ ジツヨウカ オ メザシタ ダイリュウケイ シリコン ハクマク サクセイ シュホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
平松雅人 [著]
著者標目
平松, 雅人 ヒラマツ, マサト
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
授与機関名
奈良先端科学技術大学院大学