博士論文

ラマン分光法を用いた電界効果トランジスタの微細チャネル域ひずみ評価に関する研究

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ラマン分光法を用いた電界効果トランジスタの微細チャネル域ひずみ評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2013-A936
国立国会図書館書誌ID
024618877
資料種別
博士論文
著者
武井宗久 [著]
出版者
[武井宗久]
出版年
[2013]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
明治大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ラマン ブンコウホウ オ モチイタ デンカイ コウカ トランジスタ ノ ビサイ チャネルイキ ヒズミ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
武井宗久 [著]
著者標目
武井, 宗久 タケイ, ムネヒサ
出版事項
出版年月日等
[2013]
出版年(W3CDTF)
2013
数量
1冊
並列タイトル等
Investigation of strain in fine channel region of field-effect-transistor by Raman spectroscopy